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      一種具有梳狀電流分布的半導(dǎo)體激光器的制作方法

      文檔序號:12515817閱讀:來源:國知局
      技術(shù)總結(jié)
      本實用新型涉及一種具有梳狀電流分布的半導(dǎo)體激光器,包括襯底、金屬接觸層和歐姆接觸層,所述襯底、金屬接觸層和歐姆接觸層之一采用電阻梳狀分布結(jié)構(gòu),或者所述襯底與金屬接觸層采用電阻梳狀分布結(jié)構(gòu),或者所述襯底與歐姆接觸層采用電阻梳狀分布結(jié)構(gòu),或者所述金屬接觸層與歐姆接觸層采用電阻梳狀分布結(jié)構(gòu),或者所述襯底、金屬接觸層和歐姆接觸層采用電阻梳狀分布結(jié)構(gòu)。本實用新型通過將激光器的金屬接觸區(qū)或者歐姆接觸區(qū)制作為電阻梳狀分布結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)具有增益?折射率復(fù)合耦合光柵的半導(dǎo)體激光器。本實用新型可以不涉及二次外延工藝,簡化了器件的制作難度,同時,還保留了增益耦合光柵半導(dǎo)體激光器的諸多優(yōu)點。

      技術(shù)研發(fā)人員:林琦;林中晞;陳景源;陳陽華;蘇輝;薛正群;王凌華;林樂
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國科學(xué)院福建物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究所
      文檔號碼:201621243081
      技術(shù)研發(fā)日:2016.11.15
      技術(shù)公布日:2017.06.06

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