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      硅烷功能化緩沖層和包括該緩沖層的電子設(shè)備的制造方法_4

      文檔序號(hào):9355430閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
      顆粒在發(fā)明性組合物中的量可在非常寬的范圍內(nèi)變化,但 通常是1 - 60重量% (優(yōu)選地1 - 40重量% )的組合物。
      [0135] 在第四方面中,本發(fā)明涉及制造本文所述的發(fā)明性組合物、中間體商品和設(shè)備, 并涉及根據(jù)這些方法獲得的發(fā)明性組合物、中間體商品和設(shè)備。本發(fā)明的這個(gè)方面如下文 所進(jìn)一步描述。
      [0136] 制造懸浮液:制造懸浮液是已知的過程。涂覆納米顆粒也是已知的過程??蓪⑦@ 些過程適用于發(fā)明性懸浮液的起始材料。
      [0137] 在一種實(shí)施方式中,例如通過混合或球磨組合溶劑和納米顆粒。為了獲得初始懸 浮液,添加烷基-烷氧基-硅烷。在室溫下或在加熱和混合時(shí),進(jìn)行涂覆。
      [0138] 在替代實(shí)施方式中,例如通過混合來(lái)組合溶劑和烷基-烷氧基-硅烷。為了獲得 初始溶液,添加納米顆粒。在室溫下或在加熱和混合時(shí),進(jìn)行涂覆。
      [0139] 制造中間體商品:可通過溶液過程來(lái)獲得根據(jù)本發(fā)明的中間體商品。認(rèn)為這是一 個(gè)顯著的優(yōu)勢(shì),因?yàn)樗沟媚芡ㄟ^適用于大面積和連續(xù)加工的簡(jiǎn)單技術(shù)來(lái)制造所有的層。
      [0140] 在一種實(shí)施方式中,本發(fā)明提供一種用于制造如本文所定義的中間體商品的方 法,其中制造所述緩沖層包括下述步驟(a)將懸浮液施涂到基材或涂覆的基材上,所述懸 浮液包括使用未取代的或取代的烷基-烷氧基-硅烷涂覆的金屬氧化物納米顆粒和溶劑, 并從所述組合物去除溶劑和(b)從所得薄膜去除溶劑和(c)任選地在升高的溫度下處理干 燥的層。
      [0141] 步驟(a)施涂懸浮液:已知將液體組合物施涂到基材來(lái)得到濕的薄膜的許多方 法;本領(lǐng)域普通技術(shù)人員能適當(dāng)選擇。合適的是例如涂布,尤其是卷對(duì)卷涂布,狹縫模頭涂 布,噴涂,超聲噴涂,浸涂,卷盤對(duì)卷盤涂布,刮刀涂布;或印刷,特別是噴墨印刷,移印,膠 印,絲網(wǎng)印刷,凹印,凹版印刷,片對(duì)片印刷。對(duì)于大規(guī)模制造而言,當(dāng)與基于真空的方法相 比時(shí),這些方法通常認(rèn)為是優(yōu)選的。取決于步驟(a)中所用的組合物,可重復(fù)該步驟(即, 可多次實(shí)施該步驟)。為了微調(diào)最終膜厚,認(rèn)為這種實(shí)施方式是優(yōu)選的。
      [0142] 步驟(b)干燥和膜形成:已知從涂覆的基材上的濕的薄膜去除液體的許多方法; 本領(lǐng)域普通技術(shù)人員能適當(dāng)選擇。合適的是例如在室溫下或升高的溫度下干燥。可在空氣 中、在保護(hù)氣如氮?dú)饣驓鍤庵羞M(jìn)行干燥。特別合適的具有低濕度含量的氣體(如氮?dú)?,干?空氣,氬氣)。
      [0143] 步驟(c):溫度清潔步驟:任選地,可在低于150°C下實(shí)施為溫度退火形式的清潔 步驟。在優(yōu)選的實(shí)施方式中,步驟(c)中在空氣或保護(hù)氣中,于80°C -150°C下退火干燥 的納米顆粒膜。
      [0144] 在優(yōu)選的實(shí)施方式中,中間體商品的所有層都通過涂覆或印刷來(lái)制造。
      [0145] 制造設(shè)備:從上述中間體商品制造設(shè)備本身是已知的,但沒有應(yīng)用到本發(fā)明的特 殊中間體商品。
      [0146] 因此,本發(fā)明提供一種用于制造如本文所定義的電子設(shè)備的方法,所述方法包括 下述步驟(a)提供如本文所定義的中間體商品,(b)使所述商品的層接觸電路,(d)完成所 得廣品。
      [0147] 該方法制得的產(chǎn)品:因?yàn)楦鶕?jù)發(fā)明性方法得到新穎的緩沖層,所以電子設(shè)備和中 間體商品也是新穎的。因?yàn)楦鶕?jù)發(fā)明性方法獲得的出色的穩(wěn)定性和性能,懸浮液也是新穎 的。
      [0148] 因此,本發(fā)明提供通過一種方法獲得的懸浮液,所述方法包括下述步驟:組合金屬 氧化物納米顆粒、烷基-烷氧基-硅烷和溶劑。
      [0149] 因此,本發(fā)明提供通過一種方法獲得的一種中間體商品所述方法包括下述步驟: 將懸浮液施涂到基材或涂覆的基材上,所述懸浮液包括(i)使用未取代的或取代的烷 基-烷氧基-硅烷涂覆的金屬氧化物納米顆粒和(ii)溶劑,并從所述組合物去除溶劑,和 任選地在升高的溫度下處理干燥的層。
      [0150] 因此,本發(fā)明提供通過一種方法獲得的電子設(shè)備,所述方法包括下述步驟:提供 如本文所定義的中間體商品,使層接觸電路,完成所得產(chǎn)品。
      [0151] 在第五方面中,本發(fā)明涉及選自晶體管的電子設(shè)備,其中所述設(shè)備包括基材和多 個(gè)層,其中至少一個(gè)所述層是通道層,其中所述通道層包括如本文所述的使用烷基-烷氧 基-硅烷涂覆的金屬氧化物納米顆粒。本發(fā)明的這個(gè)方面如下文所進(jìn)一步描述。
      [0152] 令人驚訝地發(fā)現(xiàn)如本文所述的薄膜不僅適于制造有機(jī)電子,而且適于制造晶體管 和相關(guān)的電子設(shè)備。因此,可將如上所述的材料和方法(本發(fā)明的第一方面和第四方面) 適用到本發(fā)明的這個(gè)方面。
      [0153] 在該方面中,本發(fā)明涉及電子設(shè)備例如TFT中的通道層,所述通道層具有特殊的 和有益的組合物,其包含如本發(fā)明的第一方面所述的金屬氧化物和如本發(fā)明的第一方面所 述的烷基-烷氧基-硅烷。發(fā)現(xiàn)本發(fā)明的組合物顯示有益的性質(zhì),因?yàn)椴恍枰筇幚恚ɡ?如等離子體清潔或溫度大于150°C的退火)來(lái)取得良好的設(shè)備性能(高迀移率)。
      [0154] 在【具體實(shí)施方式】中,本發(fā)明提供選自無(wú)機(jī)電子的電子設(shè)備,其中所述設(shè)備包括基 材和多個(gè)層,其中至少一個(gè)所述層是通道層,其中所述通道層包括如本文所述的使用至少 一種烷基-烷氧基-硅烷涂覆的金屬氧化物納米顆粒,其中所述烷基-烷氧基-硅烷具有 通式(II)
      [0155] (R1O)3-Si-R2-FG (II)
      [0156] 其中
      [0157] R1 表不 H, C「(^烷基,C ^C4-烷氧基-C1-C4-烷基,
      [0158] R2表示C ^C1。烷基,飽和的或不飽和的C 3-Q。碳環(huán)基團(tuán),
      [0159] FG 表示-P(O) (OR1)D-OP(O) (OM)R1,其中 R1'是 C「C6烷基,C「C4-烷氧 基-C1-C4-烷基,M是氫或堿金屬,優(yōu)選地Na。
      [0160] 在優(yōu)選的實(shí)施方式中,取代基如權(quán)利要求中所定義。
      [0161] 在其它【具體實(shí)施方式】中,本發(fā)明提供如本文所述的設(shè)備,該設(shè)備選自晶體管。
      [0162] 在其它【具體實(shí)施方式】中,本發(fā)明涉及無(wú)機(jī)晶體管,其中通道材料通過如本文所述 的方法來(lái)獲得或(ii)由如本文所述的使用烷基-烷氧基-硅烷涂覆的金屬氧化物納米顆 粒組成。
      [0163] 在其它【具體實(shí)施方式】中,本發(fā)明涉及無(wú)機(jī)晶體管,其中所述金屬氧化物納米顆粒 選自下組:211〇,20,120,1620,和211511〇 3。
      [0164] 為了進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明,提供下面的實(shí)施例。提供的這些實(shí)施例無(wú)意于限制本發(fā) 明的范圍。
      [0165] 實(shí)例 1
      [0166] 相互比較下述ETL層:
      [0167] (i)真空沉積的鈣(基準(zhǔn)電池;沒有溶液加工的ETL) ;(ii)溶膠-凝膠處理的 AZO (比較例);(iii) ZnO納米顆粒ETL (發(fā)明性);(iv) AZO納米顆粒ETL (發(fā)明性)
      [0168] 設(shè)備制備:以標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)制造具有不同類型ETL層的OPV電池。堆疊件(層)順序 如下所述:玻璃/11'0^^001':?55/5丨^^?0了81':?(:(70)81/^11/^8 ;5丨^^?0了81':?(:(70)81稱 為 "SiZZ"。
      [0169] 在環(huán)境氣氛下加工該設(shè)備。在丙酮和隨后在異丙醇中清潔預(yù)結(jié)構(gòu)化的ITO涂覆的 玻璃基材(維德玻璃公司(Weidner Glas GmbH))。干燥之后,使用PED0T:PSS(VPA14083, 賀力氏(Heraeus))層(約50nm)涂覆基材。從重量比例為I: L 5的Si-PCPDTBT(法·康 納卡(Fa. Konarka))和 PC[70]BM([6,6]-苯基-C71 丁酸甲酯,索勒尼(Solenne))的二氯 苯溶液刮刀涂覆約100納米厚的活性層。然后,在活性層頂部刮刀涂覆ZnO/AZO層,并在 80°C下退火5分鐘。將用于所有ZnO/AZO層的最終厚度設(shè)定為50納米。通過蒸發(fā)Ag(K)O 納米)的頂部電極,來(lái)完成該設(shè)備。對(duì)于參比設(shè)備,ETL層有真空沉積的15nm Ca層組成。
      [0170] 研究的設(shè)備的活性面積是10. 4mm2。電流密度-電壓(j -V)特征是使用來(lái)自 BoTest的源測(cè)量裝置測(cè)定的。通過Oriel Sol IA太陽(yáng)光模擬器來(lái)提供照明,其具有0.1 W/ cm2的AML 5G光譜。
      [0171] 在一實(shí)施例中,使用各ETL材料制備6個(gè)電池??偟倪M(jìn)行2個(gè)實(shí)驗(yàn)批次。結(jié)果表 示所有實(shí)驗(yàn)和設(shè)備的平均值。
      [0172] 具有Dieth-P的ZnO和AZO納米顆粒懸浮液:通過火焰噴射合成法來(lái)合成標(biāo)稱組 成為ZnO中2重量% Al2O3的鋁摻雜的氧化鋅納米顆粒。為了制備前體,將33g Zn-乙酸酯 (奧得里奇公司(Aldrich))和I. 9g Al-乙酰丙酮化物(奧得里奇公司)添加到200g的 2-乙基己酸,并通過在150°C下將該混合物加熱1小時(shí)來(lái)溶解。用THF以重量計(jì)1 :2稀釋所 得溶液。然后將前體加入(5毫升/分鐘,HNP麥克龍希斯特姆公司(HNP Mikrosysteme),微 環(huán)形齒輪栗mzr-2900)到噴涂噴嘴,用氧氣分散(7升/分鐘,并通過預(yù)先混合的甲烷-氧氣 火焰(CH 4:1. 21升/分鐘,O2:2. 21升/分鐘)來(lái)點(diǎn)火。通過玻璃纖維過濾器(謝樂&謝優(yōu) 公司(Schleicher&Schuell))過濾尾氣,使用真空栗(布斯公司(Busch),Seco SV1040CV), 流量是約20立方米/小時(shí)。從玻璃纖維過濾器收集所得氧化物納米粉末。
      [0173] 合成ZnO納米顆粒時(shí),前體中不使用Al-乙酰丙酮化物。
      [0174] 如下所述制備具有ZnO或AZO的懸浮液:
      [0175] "Dieth-P"購(gòu)自ABCR。為了制備懸浮液,將5重量%納米粉末(如上所述)通過球 磨6小時(shí)分散在混合物中,該混合物包括92. 5重量%干燥乙醇、2重量% H2O和0. 5重量% 二乙基磷酸根-乙基-三乙氧基硅烷。制備的最終懸浮液是透明的,且能穩(wěn)定多于3個(gè)月。 3個(gè)月之后,測(cè)定AZO的動(dòng)力學(xué)粒度(D 5。)是18納米,純ZnO的是13納米(通過離心粒度 儀測(cè)量(魯米賽茲(Lumisizer)))。
      [0176] 具有甲硅烷基-P的AZO納米顆粒懸浮液:通過火焰噴射合成法來(lái)合成標(biāo)稱組成 為ZnO中2重量% Al2O3的鋁摻雜的氧化鋅納米顆粒。為了制備前體,將33g Zn-乙酸酯(奧 得里奇公司(
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