的閉合狀態(tài)(圖7的狀態(tài))。而且，基于如此使抓持件27b處于閉合狀態(tài)，所述支撐銷21被兩抓持爪60A、60B從兩側(cè)(Y方向兩側(cè))夾住，而被該抓持件27b抓持。
[0053]所述支撐銷21如圖8所示，是在下端部近傍具備凸緣部21a的軸狀部件，通過(guò)由比凸緣部21a更下側(cè)的部分插入到支撐板22或銷庫(kù)7的孔部中，而被安裝到該支撐板22等上。
[0054]所述支撐銷21具有呈圓錐臺(tái)狀的遠(yuǎn)端部21b (上端部)。另一方面，在所述抓持件27b的抓持件主體40的下表面，如圖8所示，形成有與該遠(yuǎn)端部21b吻合的圓錐臺(tái)狀的定位孔52。即，在由抓持件27b進(jìn)行支撐銷21的抓持時(shí)，基于支撐銷21的遠(yuǎn)端部21b插入到所述定位孔52，支撐銷21相對(duì)于兩抓持爪60A、60B被對(duì)中心(參照?qǐng)D9)。
[0055]此外，如圖5、圖6及圖8所示，在抓持件主體40上還形成有用于將各工作缸46A、46B的內(nèi)部分別向外部(大氣)開(kāi)放的排泄通道50。排泄通道50形成在抓持件主體40中橫向通道44的下側(cè)且是抓持件27b處于所述開(kāi)放狀態(tài)時(shí)的與各活塞部66的遠(yuǎn)端外周面相向的位置。此外，在收容在各工作缸46A、46B內(nèi)的所述活塞部66的彈簧收納用凹部66a的周壁上，形成有用于使該彈簧收納用凹部66a的內(nèi)部(即，各工作缸46A、46B的內(nèi)部)與所述排泄通道50連通的第二開(kāi)口部66c(相當(dāng)于本發(fā)明的通道開(kāi)閉部)。
[0056]各活塞部66的第二開(kāi)口部66c形成在如下的位置:僅在各抓持爪60A、60B不抓持支撐銷21而處于最接近的狀態(tài)下，與排泄通道50重合的位置，亦即使彈簧收納用凹部66a的內(nèi)部(各工作缸46A、46B的內(nèi)部)與排泄通道50連通的位置。因此，各排泄通道50在與所述第二開(kāi)口部66c重合時(shí)以外，被各活塞部66的外周面堵塞，由此，各工作缸46A、46B與外部(大氣)被保持為非連通狀態(tài)。
[0057]所述的第二開(kāi)口部66c及排泄通道50用于利用所述流量傳感器39判別抓持件27b是否抓持著支撐銷21。即，該抓持件27b以能夠位移到兩抓持爪60A、60B的間隔比抓持支撐銷21的間隔(圖6的(a)中的點(diǎn)劃線(符號(hào)Pl)及圖9所示的間隔/本發(fā)明的第一間隔)更狹窄的間隔(圖6的(a)中的虛線(符號(hào)P2)及圖7的(a)所示的間隔/本發(fā)明的第二間隔)的狀態(tài)的方式，設(shè)定各抓持爪60A、60B的最大位移量。換言之，抓持件27b以所述開(kāi)放狀態(tài)時(shí)的各抓持爪60A、60B的位置作為基準(zhǔn)位置，并以從該基準(zhǔn)位置至抓持支撐銷21的位置為止的各抓持爪60A、60B的位移量小于從所述基準(zhǔn)位置至各抓持爪60A、60B的最接近的位置為止的位移量(最大位移量)的方式，設(shè)定各抓持爪60A、60B的該最大位移量。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠通過(guò)各抓持爪60A、60B以從兩側(cè)切實(shí)地夾住支撐銷21的狀態(tài)抓持該支撐銷21。
[0058]因此，在抓持件27b抓持著支撐銷21時(shí)，兩抓持爪60A、60B不會(huì)位移至最接近的位置，第二開(kāi)口部66c與排泄通道50為非連通狀態(tài)。由此，在從負(fù)壓正壓切換器33對(duì)頭部25的負(fù)壓供給開(kāi)始后，流量傳感器39的檢測(cè)值便隨著時(shí)間的經(jīng)過(guò)而下降。另一方面，在抓持件27b未抓持支撐銷21時(shí)，各抓持爪60A、60B位移至最接近的位置。由此，第二開(kāi)口部66c與排泄通道50局部地重合而成為連通狀態(tài)，各工作缸46A、46B的內(nèi)部與外部(大氣)連通，所述流量傳感器39的檢測(cè)值便上升至一定的水準(zhǔn)。因此，在負(fù)壓從負(fù)壓正壓切換器33供應(yīng)到抓持件27b的狀態(tài)下，便能夠通過(guò)調(diào)查流量傳感器39的檢測(cè)值，判別抓持件27b是否抓持著支撐銷21。在該元件安裝裝置M中，后述的控制裝置70(如圖3所示)進(jìn)行這樣的判別。
[0059]該元件安裝裝置M通過(guò)所述頭部組件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、頭部驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及負(fù)壓正壓切換器33等集中地控制元件安裝裝置M的動(dòng)作，并且進(jìn)行與該動(dòng)作相關(guān)的各種判定處理等。該控制裝置70是以周知的微電腦為基礎(chǔ)的控制裝置，其包含:執(zhí)行程序的中央運(yùn)算處理裝置(CPU)、存儲(chǔ)程序及各種數(shù)據(jù)的例如ROM或RAM等存儲(chǔ)器、用于執(zhí)行電信號(hào)的輸入輸出的輸入輸出(I/O)總線。此外，本實(shí)施方式中，頭部25(抓持件27b)、負(fù)壓正壓供應(yīng)回路30及控制裝置70相當(dāng)于本發(fā)明的搬送裝置，其中，控制裝置70相當(dāng)于本發(fā)明的判定部。
[0060]下面，對(duì)該控制裝置70執(zhí)行的支撐銷21的搬送動(dòng)作控制的一例利用圖10進(jìn)行說(shuō)明。這樣的搬送動(dòng)作控制例如在伴隨基板P的種類的變更而變更支撐板22上的支撐銷21的排列時(shí)被執(zhí)行。
[0061]控制裝置70首先確定支撐板22上的支撐銷21中需要變更位置的支撐銷21，并且使頭部組件6移動(dòng)，以使頭部組件6的多個(gè)頭部25中具備抓持件27b的頭部位于該支撐銷21的上方(步驟SI)。此時(shí)，控制裝置70使抓持件27b維持于開(kāi)放狀態(tài)。
[0062]接著，控制裝置70使頭部25下降到指定的高度位置，執(zhí)行使所述負(fù)壓正壓切換器33的開(kāi)閉閥35、36切換的控制，在使所述抓持件27b從開(kāi)放狀態(tài)切換到閉合狀態(tài)后，使頭部25上升至指定的高度位置(步驟S2至S7)。由此，支撐銷21在被抓持件27b抓持的狀態(tài)下從支撐板22上被拔出。
[0063]頭部25上升后，控制裝置70就馬上判別是否抓持著支撐銷21 (步驟S9)。具體而言，對(duì)來(lái)自所述流量傳感器39的輸入數(shù)據(jù)(測(cè)出的流量Q)與預(yù)先存儲(chǔ)在ROM等中的閾值Qtl進(jìn)行比較，判斷測(cè)出的流量Q是否超過(guò)閾值Qp該閾值Qtl基于抓持件27b抓持著支撐銷21的狀態(tài)下的所述負(fù)壓正壓切換器33的第一流路34a的空氣流量，被設(shè)定為與該空氣流量同等或高于該空氣流量若干程度的值。即，在抓持件27b未抓持支撐銷21時(shí)，如上所述，各工作缸46A、46B的內(nèi)部與外部(大氣)經(jīng)由各活塞部66的第二開(kāi)口部66c及排泄通道50而處于連通狀態(tài)，流量傳感器39的檢測(cè)值上升。因此，通過(guò)比較流量傳感器39所測(cè)出的流量Q與所述閾值Qo，能夠判別抓持件27b是否抓持著支撐銷21。
[0064]控制裝置70在判斷為未抓持支撐銷21時(shí)(在步驟S9中為“是”)，使處理返回到步驟SI,以再次執(zhí)行支撐銷21的抓持動(dòng)作。另外，雖省略了圖示，但例如在步驟SI至S9的處理連續(xù)地反復(fù)了指定的次數(shù)時(shí)，控制裝置70以此作為支撐銷21的抓持動(dòng)作出了錯(cuò)，而使圖外的告知裝置工作，以告知操作者。
[0065]另一方面，在判斷為抓持著支撐銷21時(shí)，控制裝置70依照與上述相反的順序，將該支撐銷21安裝到支撐板22上的孔部中。具體而言，控制裝置70使頭部組件6移動(dòng)，以使支撐銷21位于作為目標(biāo)的孔部的上方，使頭部25下降，在使抓持件27b從閉合狀態(tài)切換到開(kāi)放狀態(tài)后，使頭部25上升(步驟Sll至S17)。
[0066]頭部25上升后，控制裝置70再次將抓持件27b從開(kāi)放狀態(tài)切換到閉合狀態(tài)，之后就馬上判別抓持件27b是否抓持著支撐銷21 (步驟S19、S21)。具體而言，與步驟S9的處理同樣地，控制裝置70對(duì)流量傳感器39測(cè)出的流量Q與所述閾值(^進(jìn)行比較，判斷測(cè)出的流量Q是否超過(guò)閾值Qo。
[0067]此處，在判斷為抓持著支撐銷21的情況下(步驟S21中為“否”)，控制裝置70以此作為發(fā)生了支撐銷21的安裝錯(cuò)誤，而使圖外的告知裝置工作，以告知操作者(S23)。另一方面，在判斷為未抓持支撐銷21的情況下(步驟S21中為“是”)，結(jié)束對(duì)支撐銷21的一系列的搬送動(dòng)作控制。
[0068]此處，為了簡(jiǎn)要地說(shuō)明支撐銷21的搬送動(dòng)作控制，對(duì)搬送支撐板22上的一個(gè)支撐銷21時(shí)的控制例進(jìn)行說(shuō)明，但是，在變更多個(gè)支撐銷21的位置時(shí)，反復(fù)執(zhí)行上述那樣的步驟SI至S23的處理。支撐板22與銷庫(kù)7之間的支撐銷21的搬送也與上述同樣。
[0069]此外，該元件安裝裝置M中，為了更正確地進(jìn)行由控制裝置70進(jìn)行的是否抓持著支撐銷21的判斷(步驟S9、S21的處理)，所述抓持件27b具有以下的結(jié)構(gòu)。S卩，在設(shè)供應(yīng)給工作缸46A、46B的負(fù)壓(真空壓)為“P”，工作缸46A、46B的剖面積為“A”，線圈彈簧68的彈簧常數(shù)為“K”，線圈彈簧68的位移量(壓縮量)為“X”時(shí)，在負(fù)壓從負(fù)壓正壓切換器33供應(yīng)到頭部25 (抓持件27b)的狀態(tài)下，以始終(即，不管是否抓持著支撐銷21) PA > Kx的關(guān)系成立的方式，來(lái)形成各活塞部66的第二開(kāi)口部66c及排泄通道50等。為了使PA >Kx的關(guān)系成立，而設(shè)定例如兩抓持爪60A、60B最接近時(shí)的所述第二開(kāi)口部66c與所述排泄通道50的重合部分的面積(開(kāi)口面積)。
[0070]如上所述，若支撐銷21的抓持動(dòng)作上出了錯(cuò)，則各工作缸46A、46B的內(nèi)部與外部(大氣)經(jīng)由第二開(kāi)口部66c及排泄通道50而處于連通狀態(tài)。由此，各工作缸46A、46B內(nèi)的壓力上升(接近大氣壓)，此時(shí)，假若PA ( Kx,則基于線圈彈簧68的彈力，各抓持爪60A、60B被推回，各工作缸46A、46B的內(nèi)部與外部(大氣)處于暫時(shí)性的非連通狀態(tài)，之后，各工作缸46A、46B內(nèi)的壓力下降，由于PA > Kx，從而再次產(chǎn)生兩抓持爪60Α、60Β向接近方向位移的動(dòng)作。即，產(chǎn)生抓持件27b在短時(shí)間內(nèi)反復(fù)開(kāi)閉這一現(xiàn)象，其結(jié)果，流量傳感器39所測(cè)出的流量不穩(wěn)定，有可能不能正確地進(jìn)行控制裝置70所進(jìn)行的