上述判斷(步驟S9、S21的處理)。
[0071]為了避免這樣的問題，在上述元件安裝裝置M中，以負(fù)壓從負(fù)壓正壓切換器33供應(yīng)到頭部25 (抓持件27b)的狀態(tài)下，始終PA > Kx的關(guān)系成立的方式，來形成各活塞部66的第二開口部66c及排泄通道50等。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在各工作缸46A、46B的內(nèi)部與外部(大氣)經(jīng)由排泄通道50等而處于連通狀態(tài)時(shí)，防止各抓持爪60A、60B因線圈彈簧68的彈力而被推回。因此，防止了抓持件27b在短時(shí)間內(nèi)反復(fù)開閉這一現(xiàn)象的發(fā)生，提高了控制裝置70進(jìn)行上述判斷(步驟S9、S21的處理)的可靠性。
[0072]另外，如圖11所示，所述抓持件27b以如下的方式來形成排泄通道50及第二開口部66c:隨著兩抓持爪60A、60B彼此接近，亦即隨著排泄通道50與第二開口部66c的重合部分的面積也就是排泄面積的增大，所述工作缸46A、46B內(nèi)的壓力呈二次曲線地連續(xù)變化(上升)。例如，在本實(shí)施方式中，如圖9所示，所述排泄通道50為沿上下方向細(xì)長(zhǎng)的剖面橢圓形的長(zhǎng)孔，所述第二開口部66c為剖面圓形的孔。這樣，若采用隨著兩抓持爪60A、60B彼此接近而所述工作缸46A、46B內(nèi)的壓力呈二次曲線地變化(上升)的結(jié)構(gòu)，則所述流量傳感器39的檢測(cè)值也顯著地變化，從而提高了控制裝置70進(jìn)行所述判斷(步驟S9、S21的處理)的可靠性。
[0073]此外，本實(shí)施方式中，如上所述，在由抓持件27b抓持支撐銷21時(shí)，支撐銷21的遠(yuǎn)端部被插入到抓持件主體40的定位孔52中，從而該支撐銷21相對(duì)于兩抓持爪60A、60B被對(duì)中心。因此，能夠避免如下的問題:在兩抓持爪60A、60B中的任一者偏移到另一者側(cè)的狀態(tài)下支撐銷21被抓持，從而導(dǎo)致控制裝置70進(jìn)行的所述判斷(步驟S9、S21的處理)變得不正確。因此，從這一點(diǎn)上也能夠提高控制裝置70進(jìn)行的所述判斷(步驟S9、S21的處理)的可靠性。
[0074]根據(jù)以上所說明的元件安裝裝置M，如上所述，基于抓持件27b，支撐銷21被抓持并被搬送，但此時(shí)，基于負(fù)壓正壓切換器33的第一流路34a內(nèi)的空氣流量的檢測(cè)，由控制裝置70判斷抓持件27b是否抓持著支撐銷21。因此，無需移動(dòng)到固定攝像機(jī)等基臺(tái)I上的特定的位置，能夠在該支撐銷21的拔出位置或支撐銷21的安裝位置直接檢測(cè)抓持件27b抓持支撐銷21的抓持狀態(tài)(有無支撐銷21)。因此，根據(jù)該元件安裝裝置M，與移動(dòng)到固定攝像機(jī)等的上方來圖像識(shí)別抓持件27b抓持支撐銷21的抓持狀態(tài)的情形相比，相應(yīng)地不需要該移動(dòng)，從而能夠效率良好地進(jìn)行支撐銷21的排列變更作業(yè)。
[0075]而且，根據(jù)該元件安裝裝置M，以僅在兩抓持爪60A、60B處于最接近的狀態(tài)下，使各工作缸46A、46B的內(nèi)部與外部(大氣)連通的方式，將排泄通道50等設(shè)置在抓持件27b上，通過流量傳感器39測(cè)出負(fù)壓的供應(yīng)通道(負(fù)壓正壓切換器33的第一流路34a)的空氣流量這樣比較簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，便能夠獲得上述的作用效果。因此，不會(huì)伴隨元件安裝裝置M的大型化或顯著的成本上升等，能夠效率良好地進(jìn)行支撐銷21的排列變更作業(yè)。
[0076]另外，以上所說明的元件安裝裝置M只不過是本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的理想實(shí)施方式的例示，元件安裝裝置M的整體結(jié)構(gòu)或適用于該元件安裝裝置M的抓持件27b的具體結(jié)構(gòu)是可以在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行變更的。例如，還可以采用如下般的結(jié)構(gòu)。
[0077](I)上述實(shí)施方式中，作為搬送支撐銷21的裝置而應(yīng)用了本發(fā)明的抓持件(27b)或搬送裝置，當(dāng)然，作為搬送元件的裝置也可以使用本發(fā)明的抓持件或搬送裝置。特別是，連接器等大型元件難以由吸嘴27a穩(wěn)定地吸附保持，對(duì)于這樣的大型元件利用抓持件來保持較為合適。此情況下，作為抓持件而使用如下的抓持件為宜:根據(jù)對(duì)象元件變更了所述抓持件27b的抓持爪的數(shù)量或臂部及爪部的形狀等。
[0078](2)本發(fā)明的抓持件及搬送裝置并不限于上述那樣的元件安裝裝置M，其還可以作為從指定的元件供應(yīng)位置將元件搬送到試驗(yàn)用套筒中并實(shí)施該元件的性能試驗(yàn)的所謂的元件試驗(yàn)裝置等中的元件的抓持件或搬送裝置予以應(yīng)用。
[0079](3)上述實(shí)施方式的抓持件27b通過使兩方的抓持爪60A、60B均等地位移來進(jìn)行開閉，但抓持件27b也可以采用如下的結(jié)構(gòu):例如第二抓持爪60B被固定于抓持件主體40，僅第一抓持爪60A相對(duì)于第二抓持爪60B位移。或者相反，也可以采用僅第二抓持爪60B相對(duì)于第一抓持爪60A位移的結(jié)構(gòu)。
[0080](4)上述實(shí)施方式的抓持件27b是基于線圈彈簧68的作用力而被保持為開放狀態(tài)并且基于負(fù)壓(工作壓)的供應(yīng)而被切換為閉合狀態(tài)的所謂的單動(dòng)式抓持件，但是也可以例如在該抓持件27b上省略所述線圈彈簧68，而作為所謂的雙動(dòng)式的抓持件予以利用。即，也可以通過負(fù)壓的供應(yīng)將抓持件保持為閉合狀態(tài)，通過正壓(空氣流)的供應(yīng)將抓持件保持為開放狀態(tài)。
[0081](5)上述實(shí)施方式的抓持件27b是通過供應(yīng)作為工作壓的負(fù)壓而工作(從開放狀態(tài)切換為閉合狀態(tài))的，但是也可以是通過供應(yīng)作為工作壓的正壓(空氣流)而工作的抓持件。即，也可采用如下的結(jié)構(gòu):在來自負(fù)壓正壓切換器33的正壓供應(yīng)被停止時(shí)，基于線圈彈簧的作用力，各抓持爪60A、60B被保持為彼此背離的開放狀態(tài)，另一方面，若正壓(空氣流)從負(fù)壓正壓切換器33供應(yīng)到各工作缸46A、46B，則各抓持爪60A、60B克服線圈彈簧的作用力而被保持在彼此接近的閉合狀態(tài)。此時(shí)，若各抓持爪60A、60B位移到最接近的位置，則只要設(shè)置活塞部66的第二開口部66c或排泄通道50，以使各工作缸46A、46B的內(nèi)部與外部(大氣)連通，從而使流量傳感器39的檢測(cè)值下降至一定水準(zhǔn)便可。
[0082](6)上述實(shí)施方式的元件安裝裝置M中，流量傳感器39作為本發(fā)明的檢測(cè)部而被應(yīng)用，根據(jù)負(fù)壓正壓切換器33的第一流路34a的空氣流量的檢測(cè)，來進(jìn)行是否抓持著支撐銷21的判斷，但是也可以采用如下的結(jié)構(gòu):例如將壓力傳感器用作本發(fā)明的檢測(cè)部，根據(jù)所述第一流路34a的壓力檢測(cè)來進(jìn)行上述判斷。此外，上述檢測(cè)部進(jìn)行的空氣流量或壓力的檢測(cè)位置，并不一定是所述第一流路34a，其也可以是頭部主體26的內(nèi)部通道等其他的位置。
[0083]以上所說明的本發(fā)明總結(jié)如下。
[0084]S卩，本發(fā)明的一方面所涉及的搬送裝置，包括:頭部主體，能夠移動(dòng)；抓持件，包含安裝在所述頭部主體上的抓持件主體、以及沿特定方向能夠相對(duì)地接近離開的第一抓持爪及第二抓持爪，通過接受工作壓的供應(yīng)而工作；壓力供應(yīng)機(jī)構(gòu)，包含與所述抓持件相連的壓力通道，對(duì)該抓持件供應(yīng)所述工作壓；其中，所述抓持件主體包括與所述壓力通道連通且沿所述特定方向延伸的工作缸、以及用于將該工作缸的內(nèi)部向大氣開放的排泄通道，所述第一抓持爪包含收容在所述工作缸內(nèi)的活塞部，通過接受供應(yīng)到所述工作缸的所述工作壓，從而沿著該工作缸向接近所述第二抓持爪的第一方向位移，并且以能夠位移至兩抓持爪的間隔成為比抓持被搬送物的第一間隔更狹窄的第二間隔的狀態(tài)的方式來設(shè)定該第一抓持爪的最大位移量，所述活塞部包括通道開閉部，該通道開閉部在兩抓持爪的間隔成為所述第二間隔的狀態(tài)下，使所述排泄通道與所述工作缸連通以排泄所述工作缸內(nèi)的壓力。
[0085]根據(jù)該搬送裝置，通過將工作壓(抓持件工作用的壓力)供應(yīng)到所述工作缸內(nèi)，第一抓持爪接近第二抓持爪，由此，由兩抓持爪抓持被搬送物。此時(shí)，在由兩抓持爪正確地抓持著被搬送物的情況下，兩抓持爪的間隔為所述第一間隔，因此，工作缸與排泄通道被阻斷。另一方面，在被搬送物未被兩抓持爪抓持的情況下，兩抓持爪的間隔比所述第一間隔更狹窄，因此，工作缸與排泄通道經(jīng)由通道開閉部而連通。即，該搬送裝置中，基于抓持件是否抓持著被搬送物來切換工作缸與排泄通道之間的連通狀態(tài)。這樣的工作缸與排泄通道之間的連通狀態(tài)的變化對(duì)所述壓力通道內(nèi)的壓力或空氣流量也產(chǎn)生了變化。因此，若在由所述壓力供應(yīng)機(jī)構(gòu)供應(yīng)工作壓的狀態(tài)下檢測(cè)到壓力通道內(nèi)的壓力或空氣流量，則能夠基于該檢測(cè)數(shù)據(jù)，判定所述抓持件的抓持被搬送物的抓持狀態(tài)亦即判定抓持件是否抓持著被搬送物。由此，根據(jù)該搬送裝置，無需使抓持件的抓持部移動(dòng)到固定攝像機(jī)上進(jìn)行拍攝等便能夠判定抓持件是否抓持著被搬送物。
[0086]該搬送裝置中，所述抓持件主體還包括施力部件，該施力部件對(duì)所述活塞部施加向與所述第一方向相反的第二方向的作用力。
[0087]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在抓持件的非工作時(shí)，亦即在工作壓未從壓力供應(yīng)機(jī)構(gòu)供應(yīng)給抓持件的狀態(tài)下，基于所述施力部件的作用力，第一抓持爪被保持為相對(duì)于第二抓持爪背離的狀態(tài)。而且，若工作壓從壓力供應(yīng)機(jī)構(gòu)供應(yīng)給抓持件，則第一抓持爪克服所述作用力而接近第二抓持爪。因此，伴隨所述工作壓的供應(yīng)和停止的切換，能夠切實(shí)地使抓持爪開閉。
[0088]此時(shí)，較為理想的是，使所述第一抓持爪沿所述第一方向位移的力亦即所述活塞部受到所述工作壓而產(chǎn)生的所述第一抓持爪的工作力，不依所述排泄通道與所述工作缸的連通狀態(tài)而大于所述施力部件的作用力。
[0089]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠更正確地進(jìn)行所述抓持件是否抓持著被搬送物的判定。詳細(xì)而言，在被搬送物未被抓持件抓持的狀態(tài)下，如上所述，工作缸與排泄通道處于連通狀態(tài)，工作缸...