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本發(fā)明涉及精加工，具體為一種基于非晶合金的凸起微納特征加工工藝。、隨著科技的飛速發(fā)展，微納技術(shù)已成為推動現(xiàn)代工業(yè)進(jìn)步的重要力量，金屬微納器件作為微納技術(shù)的核心組成部分，因其獨(dú)特的物理、化學(xué)性質(zhì)以及高精度的三維結(jié)構(gòu)，在微納電子、光電子、生物醫(yī)學(xué)和精密機(jī)械領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用前景，這些器件的性...

本申請涉及封裝領(lǐng)域，特別是涉及一種真空封裝器件及其封裝方法。、真空封裝可以有效地隔絕空氣，減少熱傳導(dǎo)對mems（micro?electro?mechanicalsystems，微機(jī)電系統(tǒng)）結(jié)構(gòu)的影響，從而提高器件的清晰度和準(zhǔn)確性；同時(shí)真空封裝可以保護(hù)mems結(jié)構(gòu)免受物理和化學(xué)環(huán)境的影響，提...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，具體而言涉及一種半導(dǎo)體器件及其及其制備方法。、在制備諸如頻響類半導(dǎo)體器件例如mems麥克風(fēng)時(shí)，某些功能膜層需要進(jìn)行橫向鉆刻(undercut)，以使得該些功能膜層相對于其上方的膜層具有內(nèi)縮量，為了避免對器件性能產(chǎn)品負(fù)面影響，需要精準(zhǔn)控制該些功能膜層相對于其上方的功能膜層的...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，尤其涉及一種鍵合方法、鍵合結(jié)構(gòu)、mems器件及其制作方法。、mems(微電子機(jī)械系統(tǒng))陀螺儀由于其具有可動微結(jié)構(gòu)，極易受到劃片和封裝過程中的灰塵、水汽、機(jī)械等因素的影響，從而造成器件損壞或器件性能下降。因此，mems陀螺儀需要?dú)饷苄苑庋b來防止可動微結(jié)構(gòu)的損傷，...

本發(fā)明涉及微光機(jī)電系統(tǒng)（mems），具體涉及一種具有低電阻縱向布線的mems諧振芯片結(jié)構(gòu)。、mems諧振芯片是mems振蕩器、mems陀螺等產(chǎn)品的核心所在。mems諧振芯片主要包括硅諧振結(jié)構(gòu)和布線，其中硅諧振結(jié)構(gòu)位于真空密封的微腔室內(nèi)部，布線實(shí)現(xiàn)微腔室內(nèi)部和外部的電氣連接。mems諧振芯片...

本發(fā)明實(shí)施例涉及量子儀表，尤其涉及一種堿金屬原子氣室制作方法及堿金屬原子氣室。、堿金屬原子氣室是諸如原子鐘、原子磁力儀、原子陀螺儀等量子儀表的關(guān)鍵組件。這些量子儀表通過利用堿金屬原子的獨(dú)特物理性質(zhì)，如量子態(tài)的超精細(xì)結(jié)構(gòu)帶來的超精細(xì)原子能級躍遷，來實(shí)現(xiàn)高精度的時(shí)間測量、磁場探測乃至慣性導(dǎo)航。...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，特別涉及一種mems器件。、由于平行板電容易于加工，用于信號檢測具有靈敏度高、溫度范圍寬、能響應(yīng)直流信號、沖擊后變化小等優(yōu)點(diǎn)，廣泛用于微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical?system，mems)傳感器的設(shè)計(jì)中。為了抑制共模信號和保證標(biāo)度因數(shù)的對稱...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，具體而言涉及一種半導(dǎo)體器件及其制造方法。、mems(micro-electro-mechanical?system，微機(jī)電系統(tǒng))是指一種將機(jī)械構(gòu)件、驅(qū)動部件、光學(xué)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)集成為一個整體的微型系統(tǒng)。mems器件具有體積小、功耗低等優(yōu)勢，在智能手機(jī)、平板電腦、游戲機(jī)、汽...

本發(fā)明屬于微納加工，具體涉及一種生長多功能微納米陣列的方法。、具有不同像素類型的多功能微納米陣列在各種應(yīng)用中具有重要的前景，例如高分辨率全彩成像/顯示、光子晶體、信息存儲、加密等。目前，開發(fā)具有不同像素類型的多功能微納米陣列需要對不同材料進(jìn)行連續(xù)和重復(fù)的圖案化步驟。例如，采用噴墨打印、轉(zhuǎn)移...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，具體而言涉及一種半導(dǎo)體器件及其制造方法。、mems(micro-electro-mechanical?system，微機(jī)電系統(tǒng))是指一種將機(jī)械構(gòu)件、驅(qū)動部件、光學(xué)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)集成為一個整體的微型系統(tǒng)。mems器件具有體積小、功耗低等優(yōu)勢，在智能手機(jī)、平板電腦、游戲機(jī)、汽...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，具體而言涉及一種半導(dǎo)體器件及其制造方法。、mems(micro-electro-mechanical?system，微機(jī)電系統(tǒng))是指一種將機(jī)械構(gòu)件、驅(qū)動部件、光學(xué)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)集成為一個整體的微型系統(tǒng)。mems器件具有體積小、功耗低等優(yōu)勢，在智能手機(jī)、平板電腦、游戲機(jī)、汽...

本發(fā)明涉及mems氣室充氣設(shè)備，具體提供一種晶圓級mems氣室的充氣設(shè)備。、mems原子氣室是一種微型氣室，能夠在微米級別的空間內(nèi)存儲單個原子，mems氣室是芯片級原子鐘和芯片級磁力計(jì)的核心部件，是實(shí)現(xiàn)低功耗、小體積的芯片級原子鐘和芯片級磁力計(jì)的關(guān)鍵。、目前，mems氣室充銣工藝有原位化學(xué)...

本發(fā)明的一個方面涉及鑲嵌(damascene)配線構(gòu)造、致動裝置和鑲嵌配線構(gòu)造的制造方法。、現(xiàn)有技術(shù)中，已知有通過在槽部內(nèi)埋入金屬材料來形成配線部的鑲嵌配線構(gòu)造(例如參照專利文獻(xiàn))。在這樣的鑲嵌配線構(gòu)造中，在槽部的內(nèi)表面上設(shè)置有金屬層，配線部與該金屬層接合。、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)、專利文...

本申請涉及半導(dǎo)體，特別是涉及一種mems器件及其制備方法及mems微鏡。、mems微鏡是一種mems器件，是一種基于微機(jī)電系統(tǒng)(micro?electro?mechanicalsystem，mems)技術(shù)制造而成的微小可驅(qū)動反射鏡。它可以在驅(qū)動作用下對光束進(jìn)行偏轉(zhuǎn)、調(diào)制、開啟閉合及相位控制...

本發(fā)明涉及一種mems封裝，該封裝包括封裝基底和至少一個mems元件。至少一個mems元件包括mems相互作用區(qū)域并被嵌入封裝基底，使得至少mems相互作用區(qū)域保持開放。該mems封裝的特色在于在封裝基底上或封裝基底中存在一個或更多個用于發(fā)送和/或接收電磁信號的天線，其中封裝基底作為用于一個或更多...

本技術(shù)涉及電子元件材料，更加具體來說，涉及一種提高激活溫度均勻性的薄膜吸氣劑結(jié)構(gòu)。、近年來隨著各類mems器件向小型化、扁平化、集成化，其所需的吸氣劑從燒結(jié)非蒸散型吸氣劑逐漸發(fā)展為pvd沉積的薄膜型。如圖，mems器件用的薄膜吸氣劑一般是將鋯釩鐵、鈦鋯釩等吸氣合金以薄膜形式（圖中的）沉積在...

本發(fā)明屬于柔性微機(jī)械系統(tǒng)，具體地說，涉及一種可動態(tài)、程序化調(diào)節(jié)表面拓?fù)湫蚊沧冃蔚娜嵝詧?zhí)行系統(tǒng)及應(yīng)用。、表面拓?fù)湫蚊沧冃蔚娜嵝詧?zhí)行系統(tǒng)具有廣泛的工業(yè)應(yīng)用前景，例如新型微流控系統(tǒng)、智能人機(jī)交互界面、機(jī)器人感知和執(zhí)行系統(tǒng)、可穿戴設(shè)備、vr、ar、元宇宙等領(lǐng)域，可以提供更加安全可靠的人機(jī)交互界面和...

本公開涉及器件制備領(lǐng)域，尤其涉及一種微納結(jié)構(gòu)制備方法。、高深寬比微納結(jié)構(gòu)是微納加工技術(shù)中的典型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)形式，廣泛應(yīng)用于mems領(lǐng)域、光子晶體研究領(lǐng)域、集成電路領(lǐng)域等。高深寬比結(jié)構(gòu)在相同基底面積下具備更大的垂直維度空間，可以顯著提高器件的性能，為半導(dǎo)體器件發(fā)展提供更多的可能性。、刻蝕作為微納...

本發(fā)明屬于材料表面激光加工及防除冰，更具體地說，本發(fā)明涉及一種激光加工的具有防除冰效果的微納復(fù)合結(jié)構(gòu)及制備方法。、寒冷地區(qū)容易發(fā)生積冰，積冰會造成嚴(yán)重的安全事故和重大的經(jīng)濟(jì)損失，在許多領(lǐng)域，包括電力傳輸，通信，能源，交通因此，迫切需要制定高效的防/除冰策略來解決積冰問題。一般來說，傳統(tǒng)的主...

本發(fā)明屬于電子信息，具體涉及一種mems微鏡、制造方法及基于該微鏡的二維電磁式微掃描鏡。、集成多傳感器和多動能輔助系統(tǒng)的新型智能車輛已成為汽車行業(yè)的研究焦點(diǎn)和整體趨勢。要實(shí)現(xiàn)高等級的智能駕駛技術(shù)，激光雷達(dá)被視為不可或缺的三維空間信息感知系統(tǒng)。而微掃描鏡作為激光雷達(dá)中操縱光束掃描的核心執(zhí)行器...