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本發(fā)明屬于納米孔，具體涉及一種基于尋址電極獨立制備多個納米孔的方法。、固態(tài)納米孔技術(shù)，作為一種新興的納米尺度的生物傳感器，憑借其無標(biāo)簽和實時生物傳感的特性，已經(jīng)在單分子生物學(xué)、基因組學(xué)和藥物篩選等多個領(lǐng)域引發(fā)了巨大的關(guān)注。其卓越的高可靠性和高靈敏度，預(yù)示著它可能成為下一代測序技術(shù)的核心基石...

、物聯(lián)網(wǎng)(iot)的出現(xiàn)已經(jīng)產(chǎn)生了在可穿戴設(shè)備、智能電話以及用于工業(yè)和消費者應(yīng)用的遠(yuǎn)程感測中使用的無數(shù)基于傳感器的設(shè)備。定時諧振器在這些設(shè)備中是普遍存在的并且?guī)椭峁┯糜诟檿r間、使數(shù)字集成電路(ic)中的事件同步、以及處理信號的信號。高精度定時諧振器對于這種高性能電子應(yīng)用可能是期望的。、...

本發(fā)明涉及一種具有疏水透氣膜的芯片封裝結(jié)構(gòu)的透氣封裝蓋及其制造方法與接口結(jié)構(gòu)。、隨著對環(huán)境健康與環(huán)保的重視，空氣質(zhì)量的監(jiān)控已被廣泛執(zhí)行，其主要是通過氣體傳感器對環(huán)境進行長時間的傳感以達到監(jiān)控的目的。為了適應(yīng)長時間運作以及不同的環(huán)境或氣候，對于氣體傳感器的環(huán)境耐受性的要求正逐漸提高。、目前市...

本發(fā)明涉及一種電容式傳感器。另外，本發(fā)明涉及一種用于運行電容式傳感器的方法。此外，本發(fā)明涉及一種計算機程序產(chǎn)品。、在例如智能手機、智能手表、健身追蹤器和可穿戴設(shè)備等設(shè)備中的以及在iot市場中的壓力傳感器變得越來越流行。應(yīng)用情況不是僅局限于天氣識別和高度估算，而是還通過進入市場的新應(yīng)用情況擴...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制備，尤其涉及一種基于聚酰亞胺犧牲層的rfmems開關(guān)的制備方法。、rf?mems開關(guān)是一種利用微機械加工技術(shù)制造的微型器件，用于控制射頻信號通斷。與傳統(tǒng)固態(tài)開關(guān)相比，其主要優(yōu)勢是具有較低的插入損耗、高隔離度、高線性度以及可以忽略不計的功耗，具有極大的應(yīng)用潛力。rf?m...

本發(fā)明涉及金屬微納結(jié)構(gòu)制備，特別是一種基于轉(zhuǎn)印工藝的金屬微納結(jié)構(gòu)制備方法及裝置。、金屬微納結(jié)構(gòu)由于微納米尺度所帶來的小尺寸效應(yīng)而具有獨特的性能，如優(yōu)異的光學(xué)吸收/反射性能，由高比表面積引發(fā)的催化、氣敏、傳感、表面拉曼信號增強等一系列特性，因而在微電子機械系統(tǒng)(mems)、傳感器、太陽能電池...

本發(fā)明屬于微機械，具體涉及一種基于parylene-c聚合物的柔性電容式微機械超聲換能器及其制備方法。、超聲技術(shù)廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)成像診斷治療、工業(yè)無損檢測、流量檢測等領(lǐng)域；超聲換能器能實現(xiàn)聲能與電能相互轉(zhuǎn)換，是超聲系統(tǒng)中的核心功能部件。柔性的超聲換能器近年來逐步成為熱點，其可與柔軟的皮膚界面...

本發(fā)明涉及mems壓力傳感器領(lǐng)域，尤其涉及一種mems壓力傳感器的空腔制作方法。、mems(micro?electro?mechanical?systems)是一種微型電子機械系統(tǒng)，具有體積小、重量輕、能耗低、高性能、易集成的突出優(yōu)點，是當(dāng)今世界各類智能傳感器傳感器不可替代的關(guān)鍵核心組成部...

本申請涉及傳感器，具體而言，涉及一種mems壓力傳感器、制備方法及壓力檢測裝置。、mems壓力傳感器通常用si的薄膜作為感應(yīng)壓力的敏感膜。現(xiàn)有的mems壓力傳感器中，敏感膜越薄靈敏度越高。然而，敏感膜減薄雖然可以提高靈敏度，但敏感膜的力學(xué)性能也會降低，這就會導(dǎo)致傳感器可靠性變差。技術(shù)實現(xiàn)思...

本技術(shù)涉及微流控芯片，特別涉及一種用于微流控芯片貼裝的貼合工裝。、微流控芯片技術(shù)(microfluidics)是近年興起的一項新技術(shù)，它把生物、化學(xué)、醫(yī)學(xué)分析過程的樣品制備、反應(yīng)、分離、檢測等基本操作單元縮小到微米尺度，并且集成在幾厘米甚至更小的芯片上，自動完成反應(yīng)分離等全過程。由于該技術(shù)...

本發(fā)明涉及一種微機械結(jié)構(gòu)元件和一種相應(yīng)的制造方法。、雖然也能夠應(yīng)用任意的微機械結(jié)構(gòu)元件，但是根據(jù)微機械傳感器設(shè)備、尤其是基于硅的壓力傳感器或者麥克風(fēng)來闡述本發(fā)明及其所基于的問題，所述微機械傳感器設(shè)備具有傳感器芯片和電路芯片。、用于微機械壓力傳感器和麥克風(fēng)的殼體需要到傳感器芯片的檢測區(qū)域的開...

本發(fā)明涉及慣性傳感器，具體涉及一種mems慣性傳感器及其集成制作方法，可廣泛應(yīng)用于慣性導(dǎo)航、無人機、自動駕駛、智能制造及高端工業(yè)領(lǐng)域。、慣性傳感器包含加速度計和陀螺儀以及它們單、雙、三軸組合，其中加速度計用來測量物體的加速度，陀螺儀用來測量物體的角速度，加速度和角速度的綜合測試可以清楚的描...

本發(fā)明涉及流體設(shè)備，尤其是涉及一種封裝結(jié)構(gòu)、封裝方法及流量傳感器。、目前，常用的液體檢測mems(微機電系統(tǒng))流量傳感器的芯片由一個熱電阻和一個熱偶堆組成，通過封裝工藝將芯片封裝于傳感器的流道內(nèi)部，液體流經(jīng)mems芯片時加熱熱電阻，通過檢測熱偶堆電壓變化(由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量及流體的...

本申請涉及微機電系統(tǒng)(mems)領(lǐng)域，尤其提供一種微機電系統(tǒng)執(zhí)行器封裝裝置及電氣產(chǎn)品。、微機電系統(tǒng)(mems)因其體積小、性能好而被用于智能手機等消費產(chǎn)品的傳感器。隨著mems技術(shù)的發(fā)展，常規(guī)的聲學(xué)器件，如揚聲器、超聲換能器等正被mems聲學(xué)器件所取代，因為它們有更好的聲學(xué)性能、更小的體積...

本公開涉及一種具有浮置金屬部分的半導(dǎo)體封裝件及其制造方法。、許多應(yīng)用需要僅被流體包圍和/或能夠相對于靜止元件機械移動的金屬結(jié)構(gòu)。、us/a公開了用于提供半導(dǎo)體封裝件的精確制造的結(jié)構(gòu)的技術(shù)和機制。在一個實施例中，半導(dǎo)體封裝件的堆積載體包括多孔電介質(zhì)材料。在多孔介電材料上設(shè)置籽晶銅和電鍍銅。執(zhí)...

本申請涉及致動器，具體是涉及一種致動器、微機電結(jié)構(gòu)以及電子設(shè)備。、隨著電子設(shè)備的不斷普及，電子設(shè)備已經(jīng)成為人們?nèi)粘Ｉ钪胁豢苫蛉钡纳缃还ぞ吆蛫蕵饭ぞ?，人們對于電子設(shè)備的要求也越來越高。以手機為例，為了滿足人們的拍照需求，相關(guān)技術(shù)中通常采用vcm(voice?coil?motor)馬達來驅(qū)動...

本發(fā)明涉及mems器件和生產(chǎn)mems器件的方法。更具體地，本發(fā)明涉及包括兩個器件層的mems器件和用于制造雙層mems器件的方法。、使用硅基技術(shù)制造的微機電系統(tǒng)(mems)器件是普遍的。mems器件的典型應(yīng)用是慣性傳感器，其檢測加速度和角速度中的至少一個。該類型的mems器件廣泛用于消費、...

本發(fā)明涉及慣性傳感器和具備該慣性傳感器的慣性測量裝置。、近年來，開發(fā)了利用mems(micro?electro?mechanical?system：微電子機械系統(tǒng))結(jié)構(gòu)的慣性傳感器。作為這樣的慣性傳感器，在專利文獻中記載有檢測z軸方向的加速度的加速度傳感器。、專利文獻記載的加速度傳感器具備...

本申請涉及半導(dǎo)體制造，尤其涉及一種形成溝槽的方法及半導(dǎo)體工藝設(shè)備。、在集成電路、微機電系統(tǒng)和先進封裝等領(lǐng)域，深硅刻蝕有著重要應(yīng)用，是半導(dǎo)體制造中非常重要的一種工藝過程。由于深硅刻蝕需要形成具有較大深寬比和較高垂直度的溝槽，傳統(tǒng)的濕法刻蝕工藝無法完成，因此通常采用干法刻蝕工藝獲得所需溝槽。其...

本發(fā)明涉及振鏡，具體涉及一種磁性懸臂梁的制備方法以及電磁掃描振鏡模組。、振鏡技術(shù)，從最初的機械裝置到現(xiàn)代高速、高精度電子光學(xué)設(shè)備，經(jīng)歷了漫長的發(fā)展而逐漸成熟；早期的機械振鏡由一個反射鏡、驅(qū)動電機(如電磁線圈和磁鐵系統(tǒng))、位置傳感器(如光學(xué)編碼器)和控制系統(tǒng)組成，主要依靠機械運動(如電機驅(qū)動...